掃描探針顯微鏡與掃描電子顯微鏡都是顯微鏡，但他們的功能和用途不同，工作原理也不一樣。當然了，價格上也是不一樣的，掃描電子顯微鏡要貴得多。

１、功能

掃描探針顯微鏡具有極高的分辨率。它可以輕易的“看到”原子，這是一般顯微鏡甚至電子顯微鏡所難以達到的。掃描探針顯微鏡得到的是實時的、真實的樣品表面的高分辨率圖像。而不同于某些分析儀器是通過間接的或計算的方法來推算樣品的表面結構。掃描探針顯微鏡使用環(huán)境寬松。電子顯微鏡等儀器對工作環(huán)境要求比較苛刻，樣品必須安放在高真空條件下才能進行測試。而SPM既可以在真空中工作，又可以在大氣中、低溫、常溫、高溫，甚至在溶液中使用。

２、用途

掃描探針顯微鏡的應用領域是寬廣的。無論是物理、化學、生物、醫(yī)學等基礎學科，還是材料、微電子等應用學科都有它的用武之地。

掃描電子顯微鏡*基本的功能是對各種固體樣品表面進行高分辨形貌觀察。大景深圖像是掃描電子顯微鏡觀察的特色，例如：生物學，植物學，地質學，冶金學等等。觀察可以是一個樣品的表面，也可以是一個切開的面，或是一個斷面。冶金學家已興奮地直接看到原始的或磨損的表面。可以很方便地研究氧化物表面，晶體的生長或腐蝕的缺陷。它一方面可更直接地檢查紙，紡織品，自然的或制備過的木頭的 細微結構，生物學家可用它研究小的易碎樣品的結構。例如：花粉顆粒，硅藻和昆蟲。另一方面，它可以拍出與樣品表面相應的立體感強的照片。

３、工作原理

掃描探針顯微鏡由于其工作原理是控制具有一定質量的探針進行掃描成像，因此掃描速度受到限制，檢測效率較其他顯微技術低；由于壓電效應在保證定位精度前提下運動范圍很小（目前難以突破100μm量級），而機械調節(jié)精度又無法與之銜接，故不能做到象電子顯微鏡的大范圍連續(xù)變焦，定位和尋找特征結構比較困難；目前掃描探針顯微鏡中*為廣泛使用管狀壓電掃描器的垂直方向伸縮范圍比平面掃描范圍一般要小一個數量級，掃描時掃描器隨樣品表面起伏而伸縮，如果被測樣品表面的起伏超出了掃描器的伸縮范圍，則會導致系統(tǒng)無法正常甚至損壞探針。因此，掃描探針顯微鏡對樣品表面的粗糙度有較高的要求。

 ４、價格

價格上也是不一樣的，掃描電子顯微鏡要貴得多。

通過以上分享，你現在知道掃描探針顯微鏡與掃描電子顯微鏡的區(qū)別了吧。功能和用途不同，工作原理也不一樣。當然了，價格上也是不一樣的，掃描電子顯微鏡要貴得多。